学术报告：可集成型硅基微型储能系统单元的制备及特性研究

时间：7月26日，15:00-17:00

地点：出版大厦8楼会议室

报告人：岳闯，宁波大学副研究员

摘要：近年来，随着纳米科技的飞速发展，集成电路、微/纳机电系统、智能传感等电子器件的小型化、集成化、功能化程度越来越高，如 IC 芯片、MEMS/NEMS器件、智能传感器件等发展的一个趋势就是将能源装置、微型传感器、执行器以及控制电路集成到一个芯片上，因而各种微型电池的开发成为迫在眉睫的需要解决的科学和应用课题。然而，目前发展的微型储能器件其工艺制备兼容性、与微纳器件的集成性，以及其储能特性仍需进一步的改善。研究发现，利用工艺兼容性良好的MEMS微纳加工工艺兼并微电子技术，高储能特性可集成型三维硅基微型储能器件的制备与系统研究有望改善上述问题。

报告人简介：岳闯，宁波大学，副研究员。2017 年 1 月获厦门大学微电子学与固体电子学 专业工学博士学位，期间赴美国加州大学伯克利分校机电工程系，进行为期 2 年的博士联合培养，并荣获福建省优秀博士学位论文奖及第十三届福建省自然科学优秀学术论文一等奖。博士毕业之后，于 2017 年 3 月至 2018 年9月赴韩国汉阳大学能源工程系从事博士后研究工作，于 2018 年 9 月从海外入职宁波大学，长期致力于新型硅基微纳加工工艺的探究、优化及其在硅基微型储能、传感系统方面的应用研究，以第一或通讯作者在 Advanced Functional Materials, Energy Storage Materials, Journal of Materials Chemistry A, ACS Applied Materials & Interface, Nanoscale 等高水平期刊上发表 SCI 论文 20余篇及相关专利。