20225月,团队负责人赵立波教授带领团队成员景蔚萱教授、王久洪研究员、田边教授和韦学勇教授与林启敬副研究员等前往中国航空研究院631所进行了参观,双方就智能传感产业创新中心的合作进行了深入探讨和交流。

进一步地,为了更好地加强技术合作和人才培养,集成电路与微系统设计航空科技重点实验室联合陕西省计算机学会嵌入式专委会共同举办了集成电路与微系统设计航空科技重点实验室新型半导体与MEMS传感器技术专题学术交流活动,团队负责人赵立波教授和成员田边教授分别就《MEMS压力传感器技术》、《薄膜温度传感技术进展》作了相应学术报告。

赵立波教授首先介绍了西安交通大学精密工程研究所的基本情况和主要研究方向,然后简要分享了十四五智能传感器重点专项的实施规划,最后介绍了研究所在MEMS压力传感器方面所开展的关键技术研究工作。同时,田边教授介绍了基于MEMS技术的薄膜温度传感器以及薄膜热电偶实现高温长期测量的设计及工艺原理,举例介绍了所制备的高温薄膜热电偶在航空航天等领域的应用,以及柔性薄膜热电偶在如今机器人、医疗等领域可能具有的应用前景。

希望通过此类学术交流活动,能够使双方进行深层次思想碰撞、技术借鉴,促进领域融合、协同发展。