硕士生导师；研究方向：精密与超精密磨削；复杂型面在位测量；微电子基材化学机械抛光； 邮箱：chenshanshan2009@xjtu.edu.cn

硕士生导师；中国机械工程学会高级会员；研究方向：精密超精密加工方法及装备，精密超精密检测方法及仪器，基于云端大数据的数字孪生与智能制造，飞行器多物理环境监测与感知等；邮箱：sunlin@xjtu.edu.cn；

研究方向：MEMS传感器，特种测试技术，基于复合薄膜的高温传感技术。邮箱：zhangzk@xjtu.edu.cn

硕士生导师；研究方向：微纳测量及工业视觉检测技术；邮箱：guofeng.zhang@xjtu.edu.cn

助理教授

助理教授