实验室微纳加工与测试平台建设有3000多平米的超净环境，各类 MEMS传感器加工、封装、测试设备总价值亿元以上。该平台建设完成了专用的MEMS生产和检验工艺线，建立了完善的传感器测试平台，开展了高温、高压、高频、微型压力传感器、力、加速度等高端传感器研究。